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Application des matériaux PFA dans la fabrication de semi-conducteurs

2025-06-25
01. Qu'est-ce que le matériau PFA ?

Le PFA, communément appelé PTFE fusible, est un copolymère de tétrafluoroéthylène et d'une faible quantité d'éther vinylique de perfluoroalkyle. Il peut être moulé par injection, extrudé et soufflé pour résoudre les difficultés de mise en œuvre du PTFE. Il est principalement utilisé dans les composants d'équipements semi-conducteurs, les réservoirs de stockage de produits chimiques de haute pureté, les pipelines de qualité médicale et d'autres domaines.




02. Qu'est-ce que le PFA de qualité semi-conducteur ?

Selon la pureté du produit, ses performances et ses domaines d'application, le PFA national se divise principalement en quatre catégories : qualité ordinaire, qualité revêtement, qualité ultra-pure et qualité semi-conducteur. Parmi ces catégories, la qualité semi-conducteur est soumise à des exigences strictes en matière de pureté, ce qui complique la recherche, le développement et la production.

03. Excellentes propriétés du PFA de qualité semi-conducteur

Le nettoyage, la gravure, le dépôt et d'autres traitements des semi-conducteurs nécessitent une grande quantité de produits chimiques électroniques humides tels que l'acide fluorhydrique, l'acide chlorhydrique, l'acide nitrique, l'acide sulfurique, le phosphate d'ammonium et les solutions aqueuses de peroxyde d'hydrogène. Par conséquent, les produits PFA de qualité semi-conducteur, offrant une résistance supérieure à la corrosion, aux hautes températures et une ultra-pureté, sont devenus le choix privilégié pour les procédés avancés.

Le PFA de qualité semi-conducteur présente les propriétés supérieures suivantes :

  • Super résistance à la corrosion
Le PFA de qualité semi-conducteur présente une excellente résistance à la corrosion face à divers acides forts, alcalis forts et solvants organiques, ce qui peut empêcher efficacement les substances chimiques d'endommager l'équipement et assurer le fonctionnement normal de l'équipement semi-conducteur.

  • Haute pureté
Les matériaux PFA de qualité semi-conducteur présentent une inertie chimique extrêmement élevée. La précipitation d'ions métalliques dans les produits tels que les tuyaux, les joints et les vannes fabriqués à partir de ce matériau est extrêmement faible, ce qui garantit la grande pureté des produits électroniques humides des semi-conducteurs pendant le transport.

  • Excellent matériau isolant
Excellent matériau isolant, le PFA de qualité semi-conducteur présente une constante diélectrique stable et une résistivité superficielle élevée sur une large plage de températures. De plus, l'isolation électrique du PFA n'est pas affectée par la température, ce qui lui permet de conserver d'excellentes propriétés électriques dans des environnements à haute température.

04. Champ d'application du PFA de qualité semi-conducteur

Les tuyaux PFA, les joints PFA, les vannes PFA et d'autres produits fabriqués à partir de matériaux PFA de qualité semi-conducteur sont largement utilisés dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs.

  • Applications en salle blanche
La fabrication de semi-conducteurs doit être réalisée dans un environnement propre. Les produits en PFA de qualité semi-conductrice, tels que les raccords de tuyauterie en PFA, peuvent être utilisés dans divers systèmes de canalisations en salle blanche, notamment pour le transport de gaz, de liquides et le refoulement. Leur grande propreté et leur forte résistance à la corrosion garantissent la stabilité et la sécurité de la salle blanche.

  • Équipement de traitement des plaquettes
Les plaquettes constituent le matériau de base de la fabrication des semi-conducteurs et doivent passer par de multiples étapes de traitement, notamment le nettoyage, le dépôt, la gravure et le conditionnement. Les produits PFA de qualité semi-conductrice peuvent être utilisés dans les conduites de transmission des équipements de traitement des plaquettes afin d'améliorer leurs performances et l'efficacité de la production.

  • Polissage mécano-chimique (CMP)
Le CMP est une technologie de traitement de surface couramment utilisée dans la fabrication de semi-conducteurs. Elle permet d'éliminer les particules fines et les rugosités à la surface des plaquettes. Les produits PFA de qualité semi-conductrice peuvent être utilisés comme conduites d'alimentation et de circulation dans les équipements CMP afin d'en garantir le bon fonctionnement.

  • Système de distribution de gaz
Dans le processus de fabrication des semi-conducteurs, divers gaz sont largement utilisés dans les réactions chimiques et le traitement. Les produits PFA de qualité semi-conductrice peuvent également être utilisés dans les systèmes d'alimentation en gaz, tels que les conduites à vide, les conduites de régulation du débit d'air et les conduites d'évacuation des gaz d'échappement, afin de garantir la stabilité et la sécurité de ces systèmes.

05. État actuel du développement des PFA de qualité semi-conducteur

Avec le développement de circuits intégrés à haute intégration, de haute densité et de raffinement à grande échelle, les exigences de pureté et de fonctionnalité des matériaux utilisés dans la production de semi-conducteurs sont plus élevées. Actuellement, la plupart des fabricants de semi-conducteurs dépendent encore des produits PFA importés, mais Baoshili a créé une variété de produits en PFA de qualité semi-conducteur, tels que des raccords de tuyauterie et des joints PFA ultra-propres, grâce à des investissements technologiques continus en R&D, afin de répondre aux besoins de développement rapide du secteur.
 
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