Dans la fabrication des plaquettes, où les exigences de propreté pour les canalisations de distribution haute pureté sont extrêmement strictes, la lixiviation des ions métalliques et la libération de particules sont les deux indicateurs les plus fondamentaux. Après plusieurs séries de tests de validation, BSL (Baoshili)Tube PFA ultra-propre offre des performances stables et exceptionnelles, avec tous les indicateurs clés atteignant les niveaux internationaux de premier rang et répondant aux exigences des nœuds de procédé avancés.

Le Tube PFA ultra-propre est un composant essentiel pour le transport d'eau ultrapure et de produits chimiques dans les procédés humides des semi-conducteurs, appliqué directement à divers scénarios de fabrication de plaquettes. Même des quantités infimes d'ions métalliques lixiviés et de particules libérées peuvent contaminer les plaquettes, augmenter les taux de défauts et réduire le rendement. Pour cette raison, ces deux indicateurs sont considérés comme le « seuil critique » pour évaluer la propreté des canalisations, et les exigences en matière de performance de propreté deviennent de plus en plus strictes à mesure que les nœuds de procédé progressent.
Lors du test de validation de lixiviation des ions métalliques, les laboratoires BSL ont simulé des conditions de test extrêmes : une immersion statique de 7 jours consécutifs dans une solution d'HCl à 37 % à une température constante de 85 °C. Les résultats ont montré que les niveaux de lixiviation des ions clés, notamment Na, Al et Fe, étaient bien inférieurs à ceux des produits de marques internationales comparables. La synergie entre les matières premières en résine ultra-propre et le procédé d'extrusion par fusion à haute température limite l'introduction d'impuretés dès la source de production, créant une barrière de propreté robuste pour la fabrication avancée de puces.

Parallèlement, lors du test de particules réalisé par rinçage en circulation avec de l'eau ultrapure (UPW), le nombre de particules du Tube PFA ultra-propre était nettement inférieur à celui des produits internationaux de premier rang. En particulier, dans la plage critique de taille de particules ≥0,2 μm, le nombre de particules était proche de zéro. Grâce à une technologie de procédé propriétaire, le Tube PFA ultra-propre BSL atteint une rugosité de surface plus faible (valeur Ra) et une paroi intérieure plus lisse, réduisant physiquement la rétention et l'adsorption des particules à leur source.

Au-delà de la propreté,BSL Tube PFA ultra-propre offre également d'excellentes performances pour des indicateurs tels que la rugosité de surface (Ra), la pression d'éclatement (1/2"), la résistance à la traction et la limite d'élasticité. Il combine une performance de propreté supérieure avec une fiabilité mécanique élevée et peut s'adapter de manière stable à des conditions de fonctionnement difficiles.
Grâce à une expertise approfondie dans le domaine des consommables ultra-propres et à une compréhension détaillée des différents scénarios d'application de la fabrication de semi-conducteurs, BSL peut personnaliser de manière flexible les dimensions des tubes, les longueurs de coupe et les méthodes de raccordement selon les exigences particulières des clients en matière de conditions de fonctionnement, fournir des solutions ciblées aux défis d'applications complexes et proposer des ensembles dédiés d'accompagnement système.
Alors que les nœuds de procédé avancés continuent d'évoluer et que le seuil de propreté des canalisations de distribution haute pureté ne cesse de s'élever, BSL renforce constamment la fabrication avancée de semi-conducteurs grâce à la puissance d'innovation de ses produits. Actuellement, les produits Tube PFA ultra-propre sont déployés de manière stable dans des domaines comprenant les équipements de procédés avancés pour semi-conducteurs et les projets d'ingénierie de distribution de produits chimiques haute pureté.