Bénéficiant d'une excellente inertie chimique, d'un lessivage ultra-faible d'ions métalliques, d'une régularité supérieure de la paroi interne et d'une stabilité remarquable sur une large plage de températures,
Tube PFA ultra-propre
constitue un composant essentiel du pipeline des systèmes de transfert de photorésine pour semi-conducteurs.
Avec l'évolution des procédés de fabrication de puces vers des nœuds plus avancés, les usines de fabrication ont renforcé leurs exigences en matière de pureté et de contrôle des particules des canalisations d'alimentation en photorésine. Élément essentiel reliant les réservoirs de stockage, les pompes, les vannes et autres composants, le tube PFA ultra-propre doit résister à la corrosion à long terme causée par les solvants organiques puissants présents dans les photorésines. Parallèlement, il doit garantir un relargage d'ions métalliques extrêmement faible et un contrôle des particules optimal, afin de minimiser la contamination de la photorésine et d'assurer le rendement des produits fabriqués par les procédés avancés.
Le marché intérieur des tubes PFA ultra-purs de qualité semi-conducteurs a longtemps été fortement dépendant des importations. En particulier pour la production de puces logiques et mémoires avancées, les produits haut de gamme restent dominés par un petit nombre de fabricants internationaux. Face aux difficultés techniques rencontrées dans les matériaux des canalisations de fluides essentiels pour les semi-conducteurs, BSL a réalisé des avancées constantes dans des procédés clés, notamment le moulage par extrusion de précision de PFA de haute pureté, l'amélioration continue du contrôle de la lixiviation des métaux et la modernisation des technologies de fabrication propres pour l'ensemble du processus. Par ailleurs, BSL accélère la validation de ses produits et leur application sur site chez les principaux fabricants et fournisseurs d'équipements pour semi-conducteurs. Notre gamme de produits se caractérise par une grande homogénéité de production, une résistance chimique supérieure et une pureté ultra-élevée, répondant pleinement aux exigences rigoureuses des systèmes de transfert de photorésine pour les procédés avancés. Elle contribue ainsi à la maîtrise et au développement durable des consommables essentiels pour semi-conducteurs.
01 Résistance chimique
BSL utilise des matières premières PFA de haute pureté. Des procédés innovants améliorent la densité et l'homogénéité de la structure moléculaire des tubes, réduisent les micropores et les défauts de soudure, et bloquent efficacement les voies de pénétration des milieux corrosifs, ce qui renforce considérablement la résistance globale à la corrosion et la résistance au gonflement. Même en contact prolongé avec des solvants organiques courants pour résines photosensibles (tels que le PGMEA et la cyclohexanone), ainsi qu'avec des produits chimiques fréquemment utilisés dans les procédés humides de fabrication de semi-conducteurs, notamment l'acide sulfurique et l'acide fluorhydrique, les tubes ne présentent ni gonflement, ni fissure, ni perte de masse, ce qui témoigne d'une excellente résistance chimique.
Les résultats des tests montrent qu'après 168 heures d'immersion dans une solution d'acide chlorhydrique à 37 % à 85 °C, le tube BSL Ultra-Clean PFA ne présente aucune modification notable de son aspect ni de ses dimensions, et la quantité totale de substances lixiviables reste stable. Sa résistance chimique globale atteint un niveau de pointe international.
02 Faible lixiviation d'ions métalliques
Fabriqué avec des équipements de production de haute précision, le tube PFA ultra-propre de BSL garantit une pureté exceptionnelle. Conformément à la norme du Groupe relative aux tubes perfluoroalcoxy (PFA) de qualité semi-conducteur (ci-après dénommée la Norme), les niveaux de lixiviation des ions métalliques tels que l'aluminium, le calcium, le chrome, le fer et le sodium sont tous contrôlés en deçà des limites spécifiées par la Norme. En particulier pour les impuretés critiques comme le sodium, le fer et le calcium, notre produit offre des performances équivalentes, voire supérieures, à celles des produits concurrents internationaux, assurant ainsi la pureté du fluide depuis les canalisations jusqu'aux plaquettes tout au long du processus.
03 Faible teneur en COT et lixiviation des particules
Les tubes subissent un nettoyage par ultrasons et un rinçage à l'eau ultrapure en plusieurs étapes, ce qui réduit considérablement les résidus organiques et les particules libres sur la paroi interne. La norme stipule que la teneur en carbone organique total (COT) ne doit pas dépasser 2 000 µg/m², tandis que la valeur de COT mesurée pour les produits BSL est maintenue à moins de 60 % de cette limite.
De plus, le lessivage des particules est entièrement conforme aux normes SEMI. Dans les procédés de photolithographie sensibles aux particules, tels que le dépôt et le développement de la résine photosensible, le détachement de particules de la paroi interne du tube est réduit au minimum, évitant ainsi les rayures sur la surface de la plaquette et les courts-circuits.
04 Surface intérieure lisse
Grâce à l'utilisation de filières d'extrusion de haute précision et à des paramètres de procédé stables, la rugosité moyenne (Ra) de la paroi interne des tubes des produits BSL est maintenue à une valeur ≤ 0,25 μm. Les analyses par microscopie à force atomique (AFM) confirment la surface interne lisse et exempte de microfissures. Ceci permet de limiter efficacement les turbulences du fluide et de réduire l'adhérence des particules ainsi que l'accumulation de résidus chimiques.
Développés en interne, les produits de la gamme BSL Ultra-Clean PFA répondent parfaitement aux exigences extrêmes des procédés de transfert de photorésine utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs. Ils sont adaptés aux environnements de travail difficiles exigeant une propreté irréprochable, une forte résistance à la corrosion et une grande précision, garantissant ainsi le fonctionnement stable des systèmes de transfert de fluides et préservant le rendement de production.
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