Les produits chimiques électroniques humides sont des matériaux liquides essentiels et indispensables à la fabrication électronique. Ils sont largement utilisés dans les circuits intégrés (CI), les panneaux d'affichage, les cellules photovoltaïques et d'autres domaines. Ils interviennent principalement dans les procédés humides tels que le nettoyage, la gravure, le développement, le décapage et la galvanoplastie.
Dans les processus avancés de fabrication de semi-conducteurs, ces produits chimiques ont des exigences de pureté extrêmement élevées, répondant généralement à la norme de « qualité électronique », c'est-à-dire une concentration d'impuretés inférieure à 1 ppb (parties par milliard), voire atteignant le niveau ppt (parties par billion), pour éviter de contaminer les plaquettes ou les dispositifs et de provoquer des dommages aux performances.
1. Normes relatives aux matériaux de transmission des produits chimiques électroniques humides
Afin de garantir la propreté optimale des produits électroniques humides pendant le stockage et le transport, l'industrie des semi-conducteurs suit généralement la norme SEMI F57, formulée par Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI). Cette norme fait autorité pour les matériaux et composants polymères utilisés dans les systèmes de transmission d'eau ultra-pure et de produits chimiques liquides. Elle précise les exigences techniques et les méthodes de vérification des matériaux et composants polymères ultra-purs en termes de propriétés mécaniques, de lixiviables, de libération de particules, etc.
2. Sélection des principaux matériaux de transmission pour les produits chimiques électroniques humides
PFA (perfluoroalcoxy alcane) : le matériau privilégié pour la transmission de haute pureté
Les produits chimiques électroniques humides pour semi-conducteurs sont extrêmement sensibles aux impuretés telles que les ions et particules métalliques. Il est donc généralement nécessaire de contrôler la teneur en ions métalliques de l'ordre du ppb au ppt, et de limiter la taille des particules à 0,1 μm. Le système d'alimentation doit garantir une élimination totale des polluants ; le choix du matériau de tous les composants en contact avec le liquide est donc crucial.
Le PFA, grâce à son excellente résistance à la corrosion par les acides forts, les alcalis et les solvants organiques, est devenu le matériau privilégié pour les canalisations de transmission de la plupart des produits chimiques électroniques humides, à l'exception de certains produits chimiques organiques. Sa paroi interne est lisse, difficilement adhérente aux particules et présente un taux de lixiviation ionique extrêmement faible. Sa flexibilité et sa transparence modérées facilitent l'installation et l'observation, ce qui en fait un matériau de transmission chimique de haute pureté idéal.
Pour répondre aux exigences des procédés de fabrication avancés de semi-conducteurs, les produits chimiques électroniques humides doivent atteindre des degrés de pureté plus élevés, tels que G4 et G5. Les matériaux PFA traditionnels sont également confrontés à des défis en matière d'amélioration des performances, notamment en termes de prévention des fuites et de faible lixiviation. Actuellement, les tubes PFA ultra-propres de qualité semi-conducteur sont devenus des produits phares de l'industrie des semi-conducteurs.
PEHD (polyéthylène haute densité) : un matériau clé pour l'emballage et l'approvisionnement en vrac
Dans les systèmes d'approvisionnement en produits chimiques, outre les pipelines, les emballages ont également un impact direct sur la qualité des produits. Selon la consommation quotidienne, le système d'approvisionnement peut être divisé en deux catégories : l'approvisionnement par camion-citerne et l'approvisionnement par fût de 200 L. Parmi ces derniers, les fûts de 200 L sont largement utilisés dans la plupart des scénarios de consommation moyenne et faible en raison de leur flexibilité et de leur économie.
Dans la fabrication de semi-conducteurs, la matière première courante pour les fûts de 200 L est le PEHD.
Les fûts en PEHD de qualité semi-conducteur doivent présenter une excellente stabilité chimique, une très faible lixiviation d'ions métalliques et une propreté élevée. De plus, ils doivent présenter une bonne résistance mécanique, des propriétés anti-vieillissement et un poids léger pour s'adapter aux manipulations fréquentes et à une utilisation prolongée.
Parmi les fûts d'emballage chimique de haute pureté, les fûts en PEHD de grade G5 présentent les plus hautes barrières techniques. Pour répondre à leurs exigences de propreté et de barrière extrêmement élevées, l'industrie utilise généralement du PEHD de haute pureté importé et combine des procédés de production spéciaux tels que la coextrusion à trois couches et le moulage par soufflage creux, garantissant ainsi la conformité des produits aux normes strictes de fabrication de semi-conducteurs de pointe pour les matériaux d'emballage.
3. Baoshili – Un fournisseur de solutions de matériaux de transmission et d'emballage de haute pureté
Dans le domaine du stockage et de la transmission de produits chimiques électroniques humides, Baoshili s'engage à fournir des solutions matérielles de haute qualité conformes à la norme SEMI F57. Grâce à des activités de recherche et développement indépendantes, l'entreprise a lancé une gamme de produits PFA ultra-propres de qualité semi-conducteur, notamment des tubes et des connecteurs PFA ultra-propres, conformes à la norme SEMI F57 et capables de répondre aux exigences strictes de pureté de transmission des procédés de fabrication avancés de semi-conducteurs.
Entre-temps, les fûts en PEHD ultra-propres de 200 L de qualité G5 développés par Baoshili sont entrés dans la phase de vérification du produit, visant à fournir des garanties d'emballage sûres et fiables pour les produits chimiques électroniques humides haut de gamme.
Actuellement, le marché des produits chimiques électroniques humides connaît une croissance rapide. Selon l'Association chinoise de l'industrie des matériaux électroniques, le marché mondial devrait atteindre 82,52 milliards de yuans d'ici 2025, dont 29,275 milliards de yuans en Chine, avec un taux de croissance annuel composé (TCAC) de 8,9 %.
Dans ce contexte prometteur, les entreprises nationales ont réalisé des percées dans le domaine des produits de qualité G5, tels que l'acide sulfurique et le peroxyde d'hydrogène de qualité électronique, démontrant ainsi l'amélioration constante des capacités nationales de soutien. Baoshili s'est toujours concentrée sur la recherche, le développement et la fourniture de matériaux fluorés ultra-purs hautes performances et de matériaux d'emballage chimiques ultra-purs, afin de fournir des solutions sûres et fiables pour les secteurs des semi-conducteurs et de la fabrication électronique haut de gamme.
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